台積電先進製程的未來藏在一座台南的氫氣廠 | 合法藥品大搜索

2021年4月1日—根據業界人士估算，台積電第18廠等明年全面投產後，每天的氫氣需求量高達48輛槽車。因應將來可見的新增需求，聯華氣體也已在南科樹谷園區 ...

【文：劉光瑩】

法商亞東工業氣體日前在台南揭幕全球最大超純低碳氫氣生產設備，將以再生能源電解水取得氫氣。在完工典禮上，來自台積電與美商半導體企業的代表坐滿一整排，連台電董事長楊偉甫也特別出席。這看不見、摸不著的氫氣，為何攸關台灣半導體產業的未來競爭力？

3月18日上午，在台南科技工業區，一座兩層樓高的嶄新廠房外，貼著「水電解室」、「氧氣純化室」，以及許多三角形的警示標誌，乍看是普通的工業廠房，但卻藏著半導體產業先進製程不可或缺的原料。

這是亞東工業氣體廠最新完工的超純氫氣設備，預計以再生能源供電，電解超純水產出氫氣。亞東工業氣體是全球第二大工業氣體供應商、法國液空集團（Air Liquide）與遠東新世紀集團合資，為法國在台投資最大的製造商。

氫氣究竟有什麼重要？關鍵就藏在新聞稿裡的這一句話：

「這些氫氣生產設備將滿足極紫外光微影技術（EUV）應用中，對超高純度氫氣的新興需求，並利用更環保的氫氣製程，支援台灣主要半導體產業客戶對環境與氣候的目標。」

台積電與美商半導體企業都派代表出席

誰是「主要半導體客戶」？應該不難想像。在完工典禮現場，來自台積電與美商半導體企業的代表，坐滿現場一整排位子，不言自明。

但EUV為何會用到氫氣？還要超高純度？

簡而言之，EUV光的產生，是用每秒5萬次雷射光束轟擊液態錫，過程中錫被氣化後容易沉積在EUV的反光鏡上造成霧化，影響製程。因此注入氫氣，與錫結合成氣態的氫化錫，然後被抽出腔體。

根據業界人士估算，台積電第18廠等明年全面投產後，每天的氫氣需求量高達48輛槽車。

因應將來可見的新增需求，聯華氣體也已在南科樹谷園區購置土地，將設立2座以天然氣當原料的氫氣產製設備。

亞東的綠氫廠最不同的一點，就是將向台電購買綠電，以電解超純水的方式產出超純氫氣，生產過程無碳排。