[面試] 華夏玻璃 | 合法藥品大搜索
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2020年...2020年10月21日 — 何謂蝕刻(Etch)?. 答:將形成在晶圓表面上的薄膜全部,或特定處所去除至必要厚度的製程。 蝕刻種類: 答:(1)干蝕刻(2)濕蝕刻. 蝕刻對象依薄膜種類可分 ... 由 劉吉峰 著作 · 2005 — 一般而言,蝕刻氧化矽薄膜的反應氣體,大多以. 氟化碳的氣體為主,如早期的CF4以及現在半導體製程常使用的CHF3。為了. 與現有之半導體製程相容,因此這些氣體均為本研究 ... ,CF4,. CHF3, ... 底層. Si, Cu,. Au,. 多晶矽或. 金屬矽化. 物. 金屬. 金屬. ,CHF3在半導體產業中,應用在二氧化矽及氮化矽的電漿蝕刻(plasma etching)中,也是一種製冷劑,名稱為R-23或HFC-23,因為其不含氯,不會造成臭氧層破洞,有時會用來會 ... ,高密度活性離子蝕刻系統. (HDP-RIE). ▫ 儀器功能:. ▫ 乾式蝕刻,以蝕刻Al材. 料為主. ▫ 重要規格:. ▫ 使用氣體包含BCl3、. Cl2、CF4、CHF3、Ar、. ,本論文主要研究變壓式耦合電漿蝕刻系統對於0.22 微米線寬,以光阻當遮蔽物的鋁的金屬內連線結構 ... 對於蝕刻表面而言, CHF3 添加的量愈多,蝕刻的表面也會顯得愈平滑。 ,2020年10月21日 — 答:是在蝕刻室的清凈或更換零件後,為要穩定製程條件,使用 ... 答:Inert Gas 為一些特殊無強烈毒性的氣體, 如NH3, CF4, CHF3, SF6 等. ,由 劉吉峰 著作 · 2005 — 一般而言,蝕刻氧化矽薄膜的反應氣體,大多以. 氟化碳的氣體為主,如早期的CF4以及現在半導體製程常使用的CHF3。為了. 與現有之半導體製程相容,因此這些氣體均為本研究 ... ,蝕刻(Etching). ▫. 表面物質去除化的製程: 化學蝕刻、物理蝕刻、複合蝕刻. ▫. 選擇性蝕刻或整面全區蝕刻. ▫. 選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層. ,2020年10月21日 — 何謂蝕刻(Etch)?. 答:將形成在晶圓表面上的薄膜全部,或特定處所去除至必要厚度的製程。 蝕刻種類: 答:(1)干蝕刻(2)濕蝕刻. 蝕刻對象依薄...
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