台積電晶圓瑕疵門，除營收短少5.5億美元，還透露些什麼 ... | 合法藥品大搜索

2019年2月20日—「化學原料供應商的一批光阻原料中某特定成分因被處理的方式與過去有異，導致光阻液中產生異質的聚合物。而此異質聚合物對晶圓14B廠生產的 ...

台積電在1月中傳出南科14B廠晶圓良率異常，因此報廢上萬片晶片，針對此事台積電在15日發出聲明指出，因晶圓報廢重做，調降第一季財測。

台積電在2月15日發出聲明中，把矛頭指向某化學原料供應商。「化學原料供應商的一批光阻原料中某特定成分因被處理的方式與過去有異，導致光阻液中產生異質的聚合物。而此異質聚合物對晶圓14B廠生產的12/16奈米晶圓產生了不良影響。」

台積電指出此次事件預計將使第一季營收減少約5.5億美元，毛利率減少2.6個百分點，營業利益率減少3.2個百分點，每股盈餘減少新台幣0.42元。第一季報廢的晶圓將於第二季補足。引發業界熱烈討論。

台積電企業訊息處資深處長孫又文向《數位時代》說明，「台積電現有線上晶圓檢驗（in-line wafer inspection ）儀器無法檢測出該異常狀況，而後部分晶圓良率偏離（outlier），追查後發現光阻原料有問題。過程中花了一點時間。」

台積電聲明中所提到的光阻液（photoresist）是晶圓製造中的微影成像（Photolithography）步驟的關鍵化學品。晶圓製程中光阻劑被敷塗在晶圓後，接續的曝光（改變光阻劑溶解度）、顯影（去除溶解度較高的光阻劑）、蝕刻（移除未被光阻劑覆蓋的晶圓外膜）、去除光阻劑等步驟都和光阻劑有關，因此光阻液的使用是影響製程良率的關鍵因素之一。

晶圓製造商對於包括光阻液在內的化學品進料檢驗（Incoming QC）及供應鏈管理（SQE）都嚴格控管，才能避免晶圓在製程被污染，影響製程良率。

在供應鏈管理中，從原料的製程、生產設備與生產地點若有任何變動，該原料供應商都要通知使用廠商，在這次提供問題光阻液的廠商並沒有事先告知，在「資訊不透明」的狀況下導致台積電事後追查才發現晶圓良率有異常。

罪魁禍首是該光阻液供應商，據自由時報指出，陶氏化學為問題光阻液的供應商，台積電將求償40億元，但台積電並未證實此訊息。卻也顯示台積電的供應鏈管理與進料檢驗都還不夠嚴格，需要加強。

短期而言對台積電就是財務損失。

不過對此半導體分析師陸行之公開在Facebook上提...