乙二胺鄰苯二酚 | 合法藥品大搜索
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此條目需要精通或熟悉相關主題的編者參與及協助編輯。 (2017年10月21日) 請邀請適合的人士改善本條目。更多的細節與詳情請參見討論頁。乙二胺鄰苯二酚(Ethylenediamine pyrocatechol,EDP), 也被稱為濕蝕刻溶液(EPW),是一種用於矽的非等向性蝕刻溶液。典型的配方包括乙二胺、鄰苯二酚、吡嗪和水。本品具有致癌性以及非常強的腐蝕性。主要用於研究實驗室裡,在主流半導體製程裡並無應用。
參考文獻[編輯]catecholamine | 合法藥品大搜索
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對苯二酚 | 合法藥品大搜索
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