高科技產業含氟廢水與廢棄物循環應用：材料世界網 | 合法藥品大搜索

台灣為全球半導體與顯示器等高科技產業之研發與製造的重鎮，在這些高科技廠中會大量使用氫氟酸。氫氟酸廢液最後進入廢水處理系統，主要以化學混凝產生氟化鈣污泥，去除氟離子以達排放水標準；然而其水含量高、利用價值低，目前多以委託污泥清運處理。近年來循環經濟概念意識上升，如何將高科技產業含氟廢水再生資源化利用，已為不可忽略之重要議題。

本文將從以下大綱，針對近年來高科技廠含氟廢水處理技術與再利用發展簡述說明，並分析國內相關應用的可行性。

‧前言

　1. 含氟廢水來源

　2. 含氟廢水處理方法

‧含氟廢水回收再利用

　1. 氟化鈣污泥再製水泥副原料

　2. 氟化鈣污泥再製人造螢石

　3. 流體化床結晶–螢石

　4. 六氟鋁酸鈉–冰晶石

‧台灣螢石需求與應用

‧含氟廢水處理再利用之未來展望

‧結論

【內文精選】

前言

1. 含氟廢水來源

台灣目前著重於發展高科技產業，除了原本的新竹科學園區之外，中部及南部也興建大型的半導體及光電業等高科技產業園區。積體電路半導體業、液晶顯示面板業與太陽能產業在製程中，均利用高純度氫氟酸(Hydrofluoric Acid)或氫氟酸混酸進行IC、TFT-LCD面板與太陽能矽晶片濕式蝕刻或進行表面清洗，透過清洗水或洗滌塔洗下排入廢酸收集系統，產生含氟廢水。一般含氟廢水氟離子濃度約1,000~3,500 mg/L，部分甚至可能大於10,000 mg/L以上。

含氟廢水回收再利用

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