晶圓製造業低濃度氫氟酸廢水回收再利用之實務探討 | 合法藥品大搜索
染排放。本廠低濃度氫氟酸廢水包含：1.製程機台排水、2.廢氣處理設施(機台端局.部廢氣處理設施及中央廢氣洗滌塔)洗滌之廢水，其中以廢氣處理設施洗滌廢.
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