晶圓製造業低濃度氫氟酸廢水回收再利用之實務探討 | 合法藥品大搜索
半導體產品各種製程需使用大量含氟之化學品及氣體,最終皆會產生含氟.廢水,以往皆視為廢水處理至小於15ppm後放流。此方式不但耗費藥劑且使用./排放水量大增。
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